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公司資訊
安徽便攜式氫氣檢漏儀品質(zhì)售后無憂「多圖」
2021-06-18






氫氣檢漏法的主要設(shè)備

(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質(zhì),其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器:對于批量生產(chǎn)的用戶,采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作,可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。氫的分子量與氦氣相近,是所有化學(xué)元素中分子量輕的元素,有很好的擴(kuò)散性,逃逸性很強(qiáng),吸附及粘滯性很低。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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真空設(shè)備檢漏

一個(gè)真空系統(tǒng),經(jīng)相當(dāng)長時(shí)間抽氣之后,仍然達(dá)不到預(yù)期的真空度,可能的原因有:抽氣情況不良,即抽氣系統(tǒng)本身的問題。放氣,即真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或氣源。漏氣,即真空系統(tǒng)或被抽容器存在漏孔或縫隙。至于漏氣是檢漏技術(shù)所要解決的問題,即準(zhǔn)確檢出漏孔并加以修補(bǔ)。常規(guī)檢漏內(nèi)容包括:用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)中漏氣問題是否存在。只要水壓不變,泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化,因而可以獲得較為一致的結(jié)果。確定漏氣率。找出泄漏部位,以便修補(bǔ)堵漏。

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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,

封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的,大氣中的氦會帶來一個(gè)較高的漏率本底?,F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當(dāng)于0。這個(gè)本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。