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天津空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏設(shè)備價格合理 科儀創(chuàng)新真空
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法(1)漏率校準(zhǔn)①校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運(yùn)算,得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成組成。4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴(yán)禁用像礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

以上內(nèi)容由科儀創(chuàng)新為您提供服務(wù),希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。











用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來,靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。

3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng),不會污染被檢件,使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標(biāo)找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴(kuò)散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。

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氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

氦質(zhì)譜檢漏儀廠家的氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮:

(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質(zhì)量輕,惰性氣體,穿透能力強(qiáng),能穿透微小細(xì)縫;

(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體,空氣中的含量少,質(zhì)量輕,運(yùn)動速度快,分子直徑小,同等條件下,直線運(yùn)動距離長。氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。在實際使用中,也相對比較容易獲取,可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性,因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體,但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的,考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險性,在應(yīng)用中較少使用,所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢!