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2021-06-18
氫氣檢漏法的主要設(shè)備
(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達(dá)到與氦檢相同水平。
(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進(jìn)行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。
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真空設(shè)備檢漏
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線?？蛻粢部梢灾苯邮褂脷錃鈾z漏儀進(jìn)行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同
1.直線A
壓強不隨時間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。
北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。
如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。氫氣檢漏法檢測靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下：
在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連，
待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。進(jìn)行真空箱法檢漏，檢漏完成后工件及真空箱放空，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護性。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，
