




真空檢漏
超聲波法
該方法實(shí)際上是聽(tīng)音法的一種。無(wú)論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用,這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。它是將泄漏聲音中可聽(tīng)頻率部分截掉,僅僅使超聲波部分放大,以檢測(cè)出泄漏。檢測(cè)時(shí),可以直接使用超聲波檢測(cè)器,根據(jù)檢測(cè)儀表指針是否擺動(dòng),確定有無(wú)泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽(tīng)頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時(shí)可以使用,在抽真空時(shí),由于吸入的空氣發(fā)出超聲波,因而,采用真空法時(shí)也可以使用。
超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測(cè)超聲波部分,在普通工廠的噪音條件下,不受明顯干擾,因此檢漏效果很好。
該法的靈敏度與被試驗(yàn)物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點(diǎn)與檢漏器(探頭)間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí),超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。
檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大,一邊移動(dòng)探頭,一邊偵聽(tīng),使能聽(tīng)到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。檢漏時(shí)將檢漏器的靈敏度調(diào)到da,一邊移動(dòng)探頭,一邊偵聽(tīng),使能聽(tīng)到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到da。然后,再尋找發(fā)出超聲波的位置,以便確定泄漏點(diǎn)。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時(shí),就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點(diǎn)。這種方法操作簡(jiǎn)便,人為因素較小,不同檢測(cè)人員所得到的檢測(cè)結(jié)果基本相同。
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真空設(shè)備檢漏
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門(mén)將被抽容器與泵隔開(kāi),若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng),可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化,說(shuō)明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強(qiáng)期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說(shuō)明容器沒(méi)有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長(zhǎng)而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說(shuō)明只有漏氣而沒(méi)有放氣。
4.曲線D
開(kāi)始?jí)簭?qiáng)上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說(shuō)明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。
并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置,可以通過(guò)對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過(guò)測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測(cè)試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種,由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會(huì)增加試驗(yàn)用設(shè)備(如高、低壓真空泵、真空閥等)和設(shè)備工裝(如外壓加強(qiáng)圈)而使造價(jià)提高,所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過(guò)檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的,大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過(guò)置零來(lái)清除,但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。