




氫氣檢漏法的主要設(shè)備
(1)檢漏儀:采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀,由于氫氣的上述性質(zhì),其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。
(2)示蹤氣體充注控制器:對于批量生產(chǎn)的用戶,采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作,可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。
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氫氣檢漏法的優(yōu)勢
制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀:在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中,目前常使用氦檢漏技術(shù)來查找微小的泄漏,而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。設(shè)備應(yīng)適用氣密性檢測、應(yīng)具有大漏判定功能,微漏定量檢漏功能,工件泄漏總的判定功能,并能滿足連續(xù)生產(chǎn)的需求,具有較高的自動化程度,操作簡便、安全、可靠。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后,可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產(chǎn)品再進行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此長期以來,氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段,吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是,以氦氣作為示漏氣體,也有一些不足之處,例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣,在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機構(gòu)的離子收集板,對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應(yīng),即氦離子打到離子收集板上,并儲存一定時間,然后再慢慢釋放出來,從而造成本底的噪音等問題。
無論是在漏點定位還是在泄漏測試應(yīng)用,這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器(探頭)間的距離等因素有關(guān)。與氦氣相比,使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉,很容易在各個氣體供應(yīng)商處購得。現(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當于0.1g/y,其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20,同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備,如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的(ISO10156國際標準),無毒性和腐蝕性,也不會對設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
一個真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實的,也是沒有必要的,所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實際應(yīng)用的具體條件,對漏率指標提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強,這些漏孔就是允許的。真空設(shè)備檢漏設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計真空系統(tǒng)的一項主要指標,也是檢漏的依據(jù)。
如果已知允許的總氣載,而沒有具體指明究竟有多大,那么,在設(shè)計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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