




真空設(shè)備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達(dá)到檢測的目的。氦質(zhì)譜檢漏方法(以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點(diǎn),是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。真空箱氫氣檢漏設(shè)備真空打檢機(jī)/真空檢漏機(jī)采用聲學(xué)技術(shù),非接觸式在線檢測方式,速度800瓶每分鐘。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。
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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置,可以通過對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對(duì)待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng),說明有氫氣通過漏孔進(jìn)入被檢件中,從而指示漏孔的位置與大小。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的,大氣中的氦會(huì)帶來一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來清除,但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。