




氦質(zhì)譜檢漏儀的應用拓展三
(1)電子行業(yè)
微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
(2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。
(3)核工業(yè)
鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。
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氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。在產(chǎn)品周圍噴氦氣,以E-8mbarl/s為合格線如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠為您服務。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點:前級泵配備抽速高達15m3/h旋片泵,對氦氣抽速可達2。
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氦氣檢漏的主要技術(shù)性能
1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;
2.一般為三箱聯(lián)動系統(tǒng),生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺6PPM—12PPM;
3.開門方式,可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計,一般為平開門式、滑臺合箱式;
4.上下料采用機械手或機器人,正常生產(chǎn)時設(shè)備無需人工操作;
5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置,可將每個電芯的檢測數(shù)據(jù)對應存儲;
6.具有清氦功能
7.具有氦氣回收功能(此功能可選)
8.自動判斷,并對應放置(即不合格品放于不合格線,合格品放于合格線)
9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級密碼,更改設(shè)備參數(shù);
10.人機交互界面,觸摸屏實時反映運行狀態(tài)和測試數(shù)據(jù);
11.故障統(tǒng)計功能
12.系統(tǒng)采用配置和標準化設(shè)計制作,確保運行穩(wěn)定,性能可靠。
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