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上海氦檢漏儀報價免費咨詢
2021-06-18






氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀對示漏氣體有哪些要求,希望對您有所幫助!

(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質量輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;

(3)化學性質穩(wěn)定,不會引起化學反應和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準確性。









氦質譜檢漏儀的進展

經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現在如下幾個方面:

(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。

例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。

另外,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。






氦質譜檢漏儀的注意事項

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當的靈敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。氦氣檢漏儀氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((HeliumMassSpectrometerLeakDetector)的俗稱,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。

清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者測算,在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar。在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。

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氦質譜檢漏儀的原理

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

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