




氫氣檢漏法的工藝和方法
批量生產(chǎn)的用戶采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注,達(dá)到收到壓力后控制器會給出提示,這時操作人員即可進(jìn)行檢漏操作,然后通過控制器把氣體排出。注意不可以直接將氣體排在檢漏位置,因為這樣會造成本底污染,使得后面的檢漏無法進(jìn)行。
工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇),在現(xiàn)場需要查找系統(tǒng)漏點時,先排空制冷劑,然后逐段充注5%氫+95%氮的示蹤氣體,用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。由于氫氣比空氣輕,所以泄漏出來的氫氣都會沿著管道等部件往上跑,并且可以穿透保溫材料,使用者可以在部件較高位置進(jìn)行檢漏,比采用其他方式查找漏點要容易得多,成功率也高很多。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。
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真空設(shè)備檢漏
設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便,檢測迅速等特點,是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。氫氣檢漏儀可以為您帶來傳統(tǒng)檢漏無法滿足的更靈活的檢漏解決方案。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省U婵障錃錃鈾z漏設(shè)備真空打檢機(jī)/真空檢漏機(jī)采用聲學(xué)技術(shù),非接觸式在線檢測方式,速度800瓶每分鐘。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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