




真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿??;竟ぷ髟硎鞘褂脤iT開發(fā)的氫氣傳感器,它只對氫氣有響應(yīng)信號,而對其他氣體沒有響應(yīng),屬于唯1性檢漏性檢漏方法。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀,是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀,這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作,需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下,空氣的流動才體現(xiàn)為分子流,質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)?,F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當(dāng)于0。
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開,若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強(qiáng)將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強(qiáng),可得出壓強(qiáng)/時間曲線。由于氫氣比空氣輕,所以泄漏出來的氫氣都會沿著管道等部件往上跑,并且可以穿透保溫材料,使用者可以在部件1高位置進(jìn)行檢漏,比采用其他方式查找漏點(diǎn)要容易得多,成功率也高很多。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強(qiáng)不隨時間變化,說明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強(qiáng)期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時間的延長而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強(qiáng)上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。
并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置,可以通過對可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進(jìn)行測量的,大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除,但仍會降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗(yàn)物加壓時可以使用,在抽真空時,由于吸入的空氣發(fā)出超聲波,因而,采用真空法時也可以使用。