




真空設(shè)備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè),用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過(guò)漏孔漏出的示漏物質(zhì),從而達(dá)到檢測(cè)的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;當(dāng)泄漏點(diǎn)與探頭距離很近時(shí),超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過(guò)程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿?。由于氫分子移?dòng)速度要高于其他分子,因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體,可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度。
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的,也是沒(méi)有必要的,所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件,對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng),這些漏孔就是允許的。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量,稱(chēng)da允許漏率,簡(jiǎn)稱(chēng)允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo),也是檢漏的依據(jù)。氫氣檢漏法的工藝和方法批量生產(chǎn)的用戶(hù)采用上述控制器進(jìn)行示蹤氣體的充注,達(dá)到收到壓力后控制器會(huì)給出提示,這時(shí)操作人員即可進(jìn)行檢漏操作,然后通過(guò)控制器把氣體排出。
如果已知允許的總氣載,而沒(méi)有具體指明究竟有多大,那么,在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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