重慶氫氣檢漏系統(tǒng)生產(chǎn)廠家常用指南
2021-06-18
真空設備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達到檢測的目的。檢漏的任務就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。
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設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，
其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率?？蛻粢部梢灾苯邮褂脷錃鈾z漏儀進行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
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真空設備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。真空設備檢漏檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達到檢測的目的。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。
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