四川真空箱氫氣檢漏系統(tǒng)信息推薦 科儀創(chuàng)新真空
2021-06-18
真空設(shè)備檢漏
聽音法
氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。
該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。世界領(lǐng)1先水進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)真空打檢機(jī)/真空檢漏機(jī)當(dāng)容器經(jīng)過探頭時(shí)，探頭在容器頂部施加一個(gè)“非接觸式”的敲擊動(dòng)作，使容器頂部發(fā)出聲音，不同真空度的容器會(huì)發(fā)出不同的聲音，先進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)根據(jù)聲音來判斷容器是否發(fā)生泄漏。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。工程安裝維護(hù)商可以采用手持式氮?dú)錂z漏儀(有帶氣瓶/表組的套裝產(chǎn)品供選擇)，在現(xiàn)場(chǎng)需要查找系統(tǒng)漏點(diǎn)時(shí)，先排空制冷劑，然后逐段充注5%氫+95%氮的示蹤氣體，用手持式氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行巡檢式查漏。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的，也是沒有必要的，所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件，對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng)，這些漏孔就是允許的。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，其測(cè)量工作原理如下。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡(jiǎn)稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo)，也是檢漏的依據(jù)。
如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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