




真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿?。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡稱:科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊(cè)資金500萬??苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。
如何選擇檢漏方式,與檢測對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系,盡量做到與檢測對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓,則用正壓模式,如檢測對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓,則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式,即正壓模式和負(fù)壓模式。例如:客戶可以先使用壓降法檢查是否存在泄漏,之后再使用氫氣檢漏儀查找出泄漏位置。詳細(xì)檢漏方法與測量工作過程如下:
在抽真空方式下,待檢漏的器件通過測試端口與檢漏儀相連,
待測器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待測器件容積較大,則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率)。只需測量待測器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。如果需要得到精que的漏率數(shù)值,則必須等待整個(gè)測量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài),
氫氣檢測儀是一種可連續(xù)檢測有毒氣體濃度,適用于防爆場所要求的本質(zhì)安全型設(shè)備。氫氣氣體檢測儀為本質(zhì)安全型產(chǎn)品,符合GB3836.1-2000《操作指南氣體環(huán)境電氣設(shè)備》部分:通用要求和GB3836.4-2000《性氣體環(huán)境電氣設(shè)備》第4部分:本質(zhì)安全型”i”的有關(guān)規(guī)定。便攜式氫氣泄漏檢測儀,是一種可連續(xù)檢測作業(yè)環(huán)境中氫氣濃度的儀器。氫氣檢測儀為內(nèi)置泵吸式方式檢測氣體濃度,采用進(jìn)口電化學(xué)傳感器,具有的靈敏度和出色的重復(fù)性;它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉,僅僅使超聲波部分放大,以檢測出泄漏。氫氣檢測儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡單,功能齊全,可靠性高,整機(jī)性能居國內(nèi)水平。檢測儀外殼采用高強(qiáng)度工程材料、復(fù)合彈性橡膠材料精制而成,強(qiáng)度高、手感好。
