




氫氣檢漏法的基本原理
氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏,稱作氫氮混合氣檢漏法,或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮?dú)獾幕旌蠚怏w是不可燃的(ISO10156國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)),無(wú)毒性和腐蝕性,也不會(huì)對(duì)設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素,有著很多的優(yōu)點(diǎn)。至少要在10-3mbar以下,空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流,質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。
氫的分子量與氦氣相近,是所有化學(xué)元素中分子量較輕的元素,有很好的擴(kuò)散性,逃逸性很強(qiáng),吸附及粘滯性很低。由于氫分子移動(dòng)速度要高于其他分子,因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體,可以有著更快的響應(yīng)速度和更好的檢漏精度?;竟ぷ髟硎鞘褂脤iT開發(fā)的氫氣傳感器,它只對(duì)氫氣有響應(yīng)信號(hào),而對(duì)其他氣體沒(méi)有響應(yīng),屬于唯1性檢漏性檢漏方法。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng),說(shuō)明有氫氣通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件中,從而指示漏孔的位置與大小。同時(shí),由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低,所以不會(huì)因本底污染而導(dǎo)致誤報(bào)警。所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板,對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng),即氦離子打到離子收集板上,并儲(chǔ)存一定時(shí)間,然后再慢慢釋放出來(lái),從而造成本底的噪音等問(wèn)題。
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真空設(shè)備檢漏
一個(gè)真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實(shí)的,也是沒(méi)有必要的,所以就要根據(jù)真空系統(tǒng)實(shí)際應(yīng)用的具體條件,對(duì)漏率指標(biāo)提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足夠小,使得平衡壓強(qiáng)低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強(qiáng),這些漏孔就是允許的。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量,稱da允許漏率,簡(jiǎn)稱允許漏率。此值不僅是設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)的一項(xiàng)主要指標(biāo),也是檢漏的依據(jù)。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。
如果已知允許的總氣載,而沒(méi)有具體指明究竟有多大,那么,在設(shè)計(jì)合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總,不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。
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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱:科儀創(chuàng)新)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊(cè)資金500萬(wàn)??苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備;本產(chǎn)品信息由科儀創(chuàng)新提供,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢,科儀創(chuàng)新竭誠(chéng)為您服務(wù)。超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。
如何選擇檢漏方式,與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系,盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓,則用正壓模式,如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓,則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式,即正壓模式和負(fù)壓模式。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省T敿?xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下:
在抽真空方式下,待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連,
待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待測(cè)器件容積較大,則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率)。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后,可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。如果需要得到精que的漏率數(shù)值,則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài),

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置,可以通過(guò)對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。
與抽真空方式相反,嗅探方式是通過(guò)測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣,
封閉測(cè)試端口,將嗅探探頭連接至檢漏儀,用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描??苾x創(chuàng)新多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn),為您解決后顧之憂,歡迎您撥打電話~~~。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升,便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是,由于嗅探方式是通過(guò)檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的,大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過(guò)置零來(lái)清除,但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度(嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。