六氟化硫充氣柜真空箱測漏設備給您好的建議「多圖」
2021-06-18
氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。氦質譜檢漏儀的檢漏方式有那些氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統和逆擴散兩種。常規(guī)系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規(guī)系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。以上是由北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司發(fā)表內容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。
機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
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氦質譜檢漏常見問題
氦質譜檢漏儀是現在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來一起總結一下！
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低
（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環(huán)境沒有污染，不與其他物質反應，可以混合到任意濃度
（3）無毒，可以用在食品工業(yè)
（4）在質譜儀譜圖中易于與其他物質區(qū)分
（5）比空氣輕，運動速度快
（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔
（7）其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項。
（1）被測系統應盡量清潔，干燥，無油
（2）如果測量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內部較準
（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應注意方向
（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附氦氣）
（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣
（6）真實的漏率信號應當是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄處兩側壓差的情況下，單位時間內流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注：采用國際單位制時，漏率單位為：Pa?m3/s。
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氦質譜檢測儀的標準器選擇
北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司專業(yè)生產氦質譜檢漏儀，今天科儀創(chuàng)新的小編就大家來分享一下氦質譜檢漏儀的標準器的選擇，希望對大家有所幫助！
標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔，漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計，測量范圍(0 ～ 50) ℃ ，不確定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。
真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點
真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統
1．配置與氣路控制
真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。
工件抽空系統：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。
真空箱抽氣系統：為自動控制型，由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統，真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統的工作控制，對檢漏過程和結果顯示。
2.系統檢測過程
1)、通過v1、V4，泵系統對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統關閉V1，打開V2
2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關閉V2
3)、關閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統指揮關斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。
4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。
5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。
6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。
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