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氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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氦質譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質荷比不同的特點,利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。相對分子質量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質量為3.65×10-27kg,在標準狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點為4.214K,熔點為0.9K,三相點溫度為2.186K,三相點壓力為51.1×10-2Pa,在標準狀態(tài)下的熱導率為510.79J/(m·h·K),在標準狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標準狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標準狀態(tài)下的氦氣體積為700L。
國家標準規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。
1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點≤43℃.
2、純氦分三級:優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高純氦分為三級:優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦氣在氦質譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點≤43℃。
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檢漏儀的優(yōu)點
1、多種語言和計量單位選擇,可選中文界面。
2、135o 電離偏轉 (自然聚焦點)的全新質譜技術,金屬密封結構。
3、新的電子線路及信號處理設計。
4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程。
5、快速清氦和快速響應。
6、測試口耐壓高,可實現(xiàn)大漏檢漏。
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氦質譜檢漏儀的結構和工作原理
氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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