




氦質(zhì)譜檢漏原理
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測(cè)儀器,用于檢漏的一種檢測(cè)技術(shù),它的檢漏靈敏度可達(dá)10-14~10-15Pa?m3/s,可以準(zhǔn)確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學(xué)控制元件三大部分組成。(4)全無油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機(jī)械泵之間,利用分子泵對(duì)不同氣體具有不同壓縮比的特點(diǎn),氦氣逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn),由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學(xué)特性,偏轉(zhuǎn)半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時(shí)間到達(dá)收集板的氦離子對(duì)應(yīng)于一個(gè)電流信號(hào),這個(gè)電流信號(hào)正比于進(jìn)入到達(dá)收集板氦離子的數(shù)量,電流信號(hào)經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點(diǎn)的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因?yàn)楹饩哂幸韵聝?yōu)良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標(biāo)準(zhǔn),可以比較容易地探測(cè)到極微量的氦氣;
②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔、易于檢測(cè)也易于清除;
③氦離子荷質(zhì)比小,易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)腐蝕和損傷任何設(shè)備;
⑤氦氣無毒,不凝結(jié),極難容于水。
今天科儀創(chuàng)新小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏的工作原理,希望對(duì)您有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏常見問題
氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器,那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢?今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來一起總結(jié)一下!
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體?其他氣體可以嗎?(1)在空氣中含量低(只有5 ppm),環(huán)境本底低
(2)惰性氣體不易1燃,不易1爆對(duì)環(huán)境沒有污染,不與其他物質(zhì)反應(yīng),可以混合到任意濃度
(3)無毒,可以用在食品工業(yè)
(4)在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分
(5)比空氣輕,運(yùn)動(dòng)速度快
(6)氣體分子很小,可以穿過微小的泄漏孔
(7)其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。
(1)被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔,干燥,無油
(2)如果測(cè)量條件發(fā)生變化(溫度),需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)
(3)氦氣比空氣輕,噴氦法檢漏應(yīng)注意方向
(4)盡量不要使用密封脂(油脂會(huì)大量吸附氦氣)
(5)不要向環(huán)境釋放大量氦氣
(6)真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào),相對(duì)緩慢下降的信號(hào)
三、漏率(leak rate)
在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下,單位時(shí)間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注:采用國(guó)際單位制時(shí),漏率單位為:Pa?m3/s。
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氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇
氦質(zhì)譜檢漏儀廠家的氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮:
(1)無害,不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質(zhì)量輕,惰性氣體,穿透能力強(qiáng),能穿透微小細(xì)縫;
(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
氫和氦都是比較理想的示蹤氣體,空氣中的含量少,質(zhì)量輕,運(yùn)動(dòng)速度快,分子直徑小,同等條件下,直線運(yùn)動(dòng)距離長(zhǎng)。主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同。在實(shí)際使用中,也相對(duì)比較容易獲取,可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性,因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體,但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的,考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性,在應(yīng)用中較少使用,所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。
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氦氣檢漏
氦質(zhì)譜檢漏的檢測(cè)精度高,可達(dá)到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉,然后注入氦氣,用氦質(zhì)譜檢漏儀探測(cè)有沒有氦氣漏出,從而判斷電池的氣密性是否完好。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s數(shù)量級(jí),儀器響應(yīng)快,氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高。電池氦檢一般為兩種方式:一種是在電池生產(chǎn)的中間環(huán)節(jié),即在電池烘干注液之前進(jìn)行檢漏,電芯在真空箱內(nèi)充氦氣及檢測(cè),此法可以檢測(cè)電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達(dá)標(biāo);另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏,電芯在箱外充氦,電芯注入電解液的同時(shí)將氦氣充入電芯內(nèi)部,然后將電池放入真空箱內(nèi)進(jìn)行檢漏。