




什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的品質(zhì)保證廣泛的市場(chǎng)應(yīng)用,此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅(jiān)固耐用,抗震性能極強(qiáng),可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。檢漏儀在使用過程中,往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn):前級(jí)泵配備抽速高達(dá)15 m3/h 旋片泵,對(duì)氦氣抽速可達(dá) 2.5l/s,氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的蕞小檢測(cè)漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式:5 · 10-10 Pa m3/s
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氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214K,熔點(diǎn)為0.9K,三相點(diǎn)溫度為2.186K,三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2Pa,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79J/(m·h·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氦氣體積為700L。主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同。
國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。
1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點(diǎn)≤43℃.
2、純氦分三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高純氦分為三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點(diǎn)≤43℃。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法
氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo),通過實(shí)驗(yàn),總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)其漏率校準(zhǔn)的方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理:
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn),如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔,就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn),本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。
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