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氫燃料電池氦測漏設(shè)備產(chǎn)品介紹「在線咨詢」
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對您有所幫助!

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號,而對其他氣體沒有響應(yīng),從而檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏熱管熱管(HeatPipe)是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì),透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。








氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏

熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì),透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。熱管技術(shù)目前廣泛應(yīng)用于計算機(jī)、各類電器等設(shè)備散熱,常見的形狀有圓管狀,板塊狀 (VC 單體) 等。用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。

熱管需要檢漏原因:

熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能,如果熱管本身存在漏點(diǎn),首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能;由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部,如果發(fā)生泄漏,里面封裝的液體就會流出,嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn),所以熱管生產(chǎn)企業(yè),都會采用 氦質(zhì)譜檢漏儀對熱管進(jìn)行檢漏。

熱管檢漏客戶案例:某電子股份公司,是世界 IT 產(chǎn)業(yè) 500 強(qiáng)之一,分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地,全球員工近 90000人。該企業(yè)是全球較大的電源供應(yīng)器制造商,市場占有率達(dá) 25% 以上。

熱管檢漏方法:

該企業(yè)熱管出廠前標(biāo)準(zhǔn)漏率合格線是 E-8 mbarl/s,使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時,設(shè)定 E-8 為報警值,當(dāng)漏率低于該值時產(chǎn)品是合格的,當(dāng)漏率高于此值,檢漏儀發(fā)出聲光警報,說明產(chǎn)品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式,因為產(chǎn)品沒有抽真空的標(biāo)準(zhǔn)接口,上海伯東根據(jù)客戶實(shí)際情況定制真空夾具,一頭連接檢漏儀,一頭連接產(chǎn)品,具體做法如下:

1.啟動氦質(zhì)譜檢漏儀,裝上夾具

2.將熱管插入夾具,并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵,開始抽真空

4.在產(chǎn)品周圍噴氦氣,以 E-8 mbarl/s 為合格線

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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

  氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。如果在離大運(yùn)動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應(yīng)的氦離子運(yùn)動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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