




氦質(zhì)譜檢漏儀的進展
經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的品質(zhì)保證廣泛的市場應(yīng)用,此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用,抗震性能極強,可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設(shè)計適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點:前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵,對氦氣抽速可達 2.5l/s,氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式:5 · 10-10 Pa m3/s
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氦氣檢漏的基本功能(部分功能可選配)
1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗;
2、對被檢工件抽真空;
3、對被檢工件充注氦氣;
4、真空箱法氦質(zhì)譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格;
5、回收并循環(huán)使用氦氣;
6、如果氦氣浪費嚴重,可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純
7、PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。
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