鑄鋁件氦測漏系統(tǒng)生產(chǎn)基地「科儀創(chuàng)新真空」
2021-06-18
氦質譜檢漏儀的主要及時指標
科儀創(chuàng)新是專業(yè)生產(chǎn)氦質譜檢漏儀的廠家，專業(yè)用于電廠檢漏。關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。
1. 較小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 啟動時間：≤5min
4. 響應時間：≤1s
5. 檢漏口的較高壓力：1500Pa
6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A
7. 工作環(huán)境：5-35℃
8. 相對濕度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）
10. 重量：64kg
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氦氣檢漏儀
氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。質譜儀通過其核心部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接收1器接收所有這些離子，就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。
用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計，如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。
專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外，還具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優(yōu)點。氦質譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。
眾所周知，當一個帶電質點（正離子）以速度v進入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運動軌跡為圓，如圖1所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。當磁場的磁通密度一定時，不同質荷比（m/e）的離子在磁場中都有相應的運輸半徑，也就是都有相應的圓軌跡，這樣，不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中，使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來，達到了檢漏的目的。
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氦質譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統(tǒng)，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。
如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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