電力柱上開關真空箱氦測漏設備貨源充足「多圖」
2021-06-18
氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱，待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準，將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)，運行氦質(zhì)譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。
如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的品質(zhì)保證廣泛的市場應用，此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點：前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達 2.5l/s，氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：
真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s
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氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。質(zhì)譜儀通過其核心部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質(zhì)荷比的離子在場中彼此分開，而相同質(zhì)荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接收1器接收所有這些離子，就會得到按照質(zhì)荷比大小依次分開排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。
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