




氦質譜檢漏儀的應用拓展三
(1)電子行業(yè)
微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
(2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)
管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。
(3)核工業(yè)
鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。
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氦質譜檢漏儀的應用拓展(四)
(1)制冷行業(yè)
冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。
(2)不銹鋼保溫器皿
真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
(3)其它
據日本有關文章介紹,日本汽車制造業(yè),已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏,解決密封問題。其中包括液壓系統、制動系統、轉向系統、避震系統、汽車輪轂。
有待于開拓的檢漏領域還很多,但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因,在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。(2)真空行業(yè),儀器、儀表行業(yè)管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加1速器、醫(yī)用加1速器、輻照加1速器、鍍膜機、薄膜真空計。從某種意義上講,這種工作方式制約了生產力的發(fā)展。因此,對于真空專業(yè)技術人員,特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業(yè)廠家,應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫,為推動我國真空技術的發(fā)展而努力。
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氦質譜檢漏儀故障與處理
(1)內部的密封結構
當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。由于盒內氦濃度較高,相對檢漏儀又有一定壓力,因此有效提高了檢漏靈敏度。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。氣密性要求:對于兩器產品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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