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鑄鋁件真空箱氦測漏設備推薦「多圖」
2021-06-18






氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結構氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結構,檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅固耐用,抗震性能極強,可反復使用數(shù)年仍保證高精度的檢漏漏率。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

以上內(nèi)容由科儀為您提供服務,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。











氦質(zhì)譜檢漏儀的應用拓展(四)

(1)制冷行業(yè)

冰箱、空調(diào)、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

(2)不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

(3)其它

據(jù)日本有關文章介紹,日本汽車制造業(yè),已有30多種零部件在使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏,解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多,但由于思想觀念的束縛以及經(jīng)費等諸多原因,在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)效率低。從某種意義上講,這種工作方式制約了生產(chǎn)力的發(fā)展。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。因此,對于真空專業(yè)技術人員,特別是從事真空設備的研制和生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的專業(yè)廠家,應在氦質(zhì)譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫,為推動我國真空技術的發(fā)展而努力。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的進展

(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的資料,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢,科儀竭誠為您服務!











檢漏儀的優(yōu)點

1、多種語言和計量單位選擇,可選中文界面。

2、135o 電離偏轉 (自然聚焦點)的全新質(zhì)譜技術,金屬密封結構。

3、新的電子線路及信號處理設計。

4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程。

5、快速清氦和快速響應。

6、測試口耐壓高,可實現(xiàn)大漏檢漏。

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