




氦質(zhì)譜檢漏儀的主要及時(shí)指標(biāo)
科儀是專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的廠(chǎng)家,專(zhuān)業(yè)用于電廠(chǎng)檢漏。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。今天科儀的小編就和大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的主要及時(shí)指標(biāo)。
1. 較小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率顯圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3. 啟動(dòng)時(shí)間:≤5min
4. 響應(yīng)時(shí)間:≤1s
5. 檢漏口的較高壓力:1500Pa
6. 電源要求:220v,50Hz,單相,10A
7. 工作環(huán)境:5-35℃
8. 相對(duì)濕度:≤80%
9. 外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H)
10. 重量:64kg
以上就是關(guān)于氦檢漏的相關(guān)內(nèi)容介紹,如有需求,歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)!
氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇
今天科儀的小編就和大家來(lái)分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體有哪些要求,希望對(duì)您有所幫助!
(1)無(wú)害,不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質(zhì)量輕,惰性氣體,穿透能力強(qiáng),能穿透微小細(xì)縫;
(3)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng)和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿(mǎn)足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
氦氣檢漏儀
氦氣檢漏儀是氦質(zhì)譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱(chēng),運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱(chēng)為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。如果泄漏造成內(nèi)外沒(méi)有壓差,外部潮濕氣體有可能進(jìn)入,而破壞氧化鋅片特性,造成爆1炸。質(zhì)譜儀通過(guò)其核心部件質(zhì)譜室,使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后,不同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中彼此分開(kāi),而相同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中匯聚在一起,如果在適當(dāng)位置安置接收1器接收所有這些離子,就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開(kāi)排列的質(zhì)譜圖,這就是質(zhì)譜。
用于檢漏的質(zhì)譜儀稱(chēng)為質(zhì)譜檢漏儀。測(cè)量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計(jì),如四極質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)等都可以用于檢漏。
專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的以氦氣作示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱(chēng)為氦質(zhì)譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外,還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無(wú)毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀。
眾所周知,當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)(正離子)以速度v進(jìn)入均勻磁場(chǎng)的分析器中,如果速度v的方向和磁場(chǎng)H的方向相垂直,則它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓,如圖1所示。當(dāng)磁場(chǎng)的磁通密度一定時(shí),不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場(chǎng)中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場(chǎng)分析器中運(yùn)動(dòng)后就會(huì)彼此分開(kāi)。氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于:氦是惰性氣體,對(duì)大氣無(wú)污染,使用安全。如果在離大運(yùn)動(dòng)的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對(duì)應(yīng)的氦離子運(yùn)動(dòng)半徑位置的檔板上開(kāi)一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過(guò)狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測(cè)量?jī)x表指示出來(lái)。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來(lái),達(dá)到了檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國(guó)的設(shè)備廠(chǎng)商相繼推出了多種類(lèi)烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車(chē)等各個(gè)行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動(dòng)化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展,這些特點(diǎn)很好地滿(mǎn)足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話(huà)進(jìn)行咨詢(xún)。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空,同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。另外,工件水檢后,外表面有水,需烘干處理,耗電多,耗費(fèi)勞動(dòng)力也多。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏,氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品。
機(jī)械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。