




氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
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氦質(zhì)譜檢漏儀光無源器件檢漏
光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。(3)電子行業(yè)微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
光無源器件是不含光能源的光功能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應(yīng)用于光無源器件的檢漏。
無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于 5×10-8 mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應(yīng)用于光無源器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀常用檢漏方法及標(biāo)準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。
氦氣檢漏
氦質(zhì)譜檢漏的檢測精度高,可達(dá)到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉,然后注入氦氣,用氦質(zhì)譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出,從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式:一種是在電池生產(chǎn)的中間環(huán)節(jié),即在電池烘干注液之前進(jìn)行檢漏,電芯在真空箱內(nèi)充氦氣及檢測,此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達(dá)標(biāo);測量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計,如四極質(zhì)譜計、射頻質(zhì)譜計、飛行時間質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計等都可以用于檢漏。另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏,電芯在箱外充氦,電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內(nèi)部,然后將電池放入真空箱內(nèi)進(jìn)行檢漏。
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