




氦質譜檢漏儀的進展
經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質譜檢漏儀熱管檢漏
熱管
熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導原理與致冷介質的快速熱傳遞性質,透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外,其導熱能力超過任何已知金屬的導熱能力。熱管技術目前廣泛應用于計算機、各類電器等設備散熱,常見的形狀有圓管狀,板塊狀 (VC 單體) 等。然后取出被檢產品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內,被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品總漏率測量。
熱管需要檢漏原因:
熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能,如果熱管本身存在漏點,首先會影響熱管的導熱性能;由于盒內氦濃度較高,相對檢漏儀又有一定壓力,因此有效提高了檢漏靈敏度。其次由于熱管都是安裝在設備內部,如果發(fā)生泄漏,里面封裝的液體就會流出,嚴重污染和影響設備的正常運轉,所以熱管生產企業(yè),都會采用 氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。
熱管檢漏客戶案例:某電子股份公司,是世界 IT 產業(yè) 500 強之一,分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地,全球員工近 90000人。該企業(yè)是全球較大的電源供應器制造商,市場占有率達 25% 以上。
熱管檢漏方法:
該企業(yè)熱管出廠前標準漏率合格線是 E-8 mbarl/s,使用氦質譜檢漏儀檢漏時,設定 E-8 為報警值,當漏率低于該值時產品是合格的,當漏率高于此值,檢漏儀發(fā)出聲光警報,說明產品有漏。
熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式,因為產品沒有抽真空的標準接口,上海伯東根據客戶實際情況定制真空夾具,一頭連接檢漏儀,一頭連接產品,具體做法如下:
1.啟動氦質譜檢漏儀,裝上夾具
2.將熱管插入夾具,并用真空封泥封堵
3.按下檢漏儀啟動鍵,開始抽真空
4.在產品周圍噴氦氣,以 E-8 mbarl/s 為合格線
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檢漏儀常規(guī)的維護
適當的維護您的檢漏儀是非常必要的,具體步驟如下:
1、探頭清潔:利用附送的防護罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭,在使用本儀器前,均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。
2、拉下防護罩;
3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩;
4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴禁用像礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。
5、探頭更換:探頭終總要失效,需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關,因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時,應更換探頭,具體探頭步驟是如下:
(1)確認本儀器處于關閉狀態(tài)
(2)逆時針旋下舊探頭
(3)順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。
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氦質譜檢漏儀的特點
北京科儀真空技術有限公司(簡稱:科儀)出資成立,創(chuàng)建于2015年,注冊資金500萬。是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內;
2.檢測的介質比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數據精準;
5.自動生成數據保存,可追溯數據來源。
今天和大家分享的是真空箱氦檢漏系統(tǒng)特征及優(yōu)點,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!