




氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展
經(jīng)過近半個(gè)世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:
(1)便攜式:近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達(dá)到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴(kuò)散檢漏方式,實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用二
汽車空調(diào)兩器檢測(cè)要求
1.1 空調(diào)兩器實(shí)際工況
1.空調(diào)兩器工作介質(zhì):氟利昂或者碳?xì)浠衔镒鳛橹评鋭┕ぷ饔谄嚳照{(diào)內(nèi)部,目前比較流行使用R134a作為汽車空調(diào)的制冷劑。
2.壓力范圍:不同規(guī)格的空調(diào)兩器工作范圍在2.0~3.5MPa之間,正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注:特殊情況除外。
3.氣密性要求:對(duì)于兩器產(chǎn)品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。
4. 耐壓要求:對(duì)產(chǎn)品加壓到實(shí)驗(yàn)壓力,保壓一段時(shí)間,降到常壓,經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。
1.2 空調(diào)兩器氦檢漏基本要求
1.耐壓測(cè)試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會(huì)充注一定壓力(一般不超過3.5MPa)的高純氮?dú)饣蛘吒稍锏膲嚎s空氣,對(duì)工件作耐壓測(cè)試,如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏,再執(zhí)行氦檢測(cè)工藝。
2.氦檢測(cè)精度要求:由于不同生產(chǎn)企業(yè)對(duì)產(chǎn)品的檢測(cè)要求不盡相同,但一般都會(huì)遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),或比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求稍高。通?!皟善鳌睓z測(cè)標(biāo)準(zhǔn)不會(huì)超過1克/年。
3.檢測(cè)節(jié)拍要求:據(jù)調(diào)查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會(huì)在十萬只以上,要實(shí)現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測(cè),就要求氦檢測(cè)節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng),針對(duì)冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件,針對(duì)蒸發(fā)器檢漏可達(dá)20秒每件;
4.氦氣回收要求:氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體,由于氦氣比較貴重,如果直接排放,必然導(dǎo)致檢測(cè)成本的大幅增加。因此,一般廠家都會(huì)要求氦氣可回收,即循環(huán)利用。氦檢系統(tǒng),氦氣回收率可達(dá)95%以上。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí),入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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