




氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當?shù)撵`敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。因此,對于真空專業(yè)技術人員,特別是從事真空設備的研制和生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀的專業(yè)廠家,應在氦質(zhì)譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫,為推動我國真空技術的發(fā)展而努力。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。
清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。有待于開拓的檢漏領域還很多,但由于思想觀念的束縛以及經(jīng)費等諸多原因,在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。筆者測算,在測試到數(shù)量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成
校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱,待氦質(zhì)譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準,將一經(jīng)過校準的標準漏孔接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng),運行氦質(zhì)譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。結(jié)束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試,得到氦質(zhì)譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。
如果測試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。氦質(zhì)譜檢測儀的標準器選擇北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀創(chuàng)新的小編就大家來分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標準器的選擇,希望對大家有所幫助。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。