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空調換熱器氦測漏設備產品介紹「科儀創(chuàng)新真空」
2021-06-18






氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

今天科儀的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀對示漏氣體有哪些要求,希望對您有所幫助!

(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質量輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;

(3)化學性質穩(wěn)定,不會引起化學反應和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準確性。









氦質譜檢漏儀的注意事項

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應,對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應是相當?shù)撵`敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實測經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者測算,在測試到數(shù)量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。在測試到數(shù)量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。

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氦質譜檢漏儀的結構和工作原理

  氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴禁用像礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。






檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內,電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個易被忽視卻又易產生故障的環(huán)節(jié),當檢漏部位的復檢結果不一致時,就需檢測儀器內部是否有漏。檢漏儀內部結構緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。

今天和大家分享的是檢漏儀使用中注意事項,如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話或訪問科儀網址,科儀竭誠為您服務!