




氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法氦質(zhì)譜檢漏儀原理的氦質(zhì)譜檢漏儀特點:1。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。有待于開拓的檢漏領(lǐng)域還很多,但由于思想觀念的束縛以及經(jīng)費等諸多原因,在很多領(lǐng)域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。


氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
今天科儀的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,希望對您有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點,利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號,而對其他氣體沒有響應(yīng),從而檢漏。
真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用二
汽車空調(diào)兩器檢測要求
1.1 空調(diào)兩器實際工況
1.空調(diào)兩器工作介質(zhì):氟利昂或者碳氫化合物作為制冷劑工作于汽車空調(diào)內(nèi)部,目前比較流行使用R134a作為汽車空調(diào)的制冷劑。
2.壓力范圍:不同規(guī)格的空調(diào)兩器工作范圍在2.0~3.5MPa之間,正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注:特殊情況除外。
3.氣密性要求:對于兩器產(chǎn)品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。
4. 耐壓要求:對產(chǎn)品加壓到實驗壓力,保壓一段時間,降到常壓,經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。
1.2 空調(diào)兩器氦檢漏基本要求
1.耐壓測試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會充注一定壓力(一般不超過3.5MPa)的高純氮氣或者干燥的壓縮空氣,對工件作耐壓測試,如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏,再執(zhí)行氦檢測工藝。
2.氦檢測精度要求:由于不同生產(chǎn)企業(yè)對產(chǎn)品的檢測要求不盡相同,但一般都會遵循行業(yè)標準,或比行業(yè)標準要求稍高。通?!皟善鳌睓z測標準不會超過1克/年。
3.檢測節(jié)拍要求:據(jù)調(diào)查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會在十萬只以上,要實現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測,就要求氦檢測節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng),針對冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件,針對蒸發(fā)器檢漏可達20秒每件;
4.氦氣回收要求:氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體,由于氦氣比較貴重,如果直接排放,必然導(dǎo)致檢測成本的大幅增加。因此,一般廠家都會要求氦氣可回收,即循環(huán)利用。氦檢系統(tǒng),氦氣回收率可達95%以上。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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