




氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的操作方法,希望對(duì)大家有所幫助!
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng)
檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度,正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3s。筆者實(shí)測時(shí),在漏點(diǎn)處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對(duì)于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。
檢漏時(shí)噴槍在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時(shí)間也越長。正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,采用檢漏儀吸槍測量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的準(zhǔn)確測量。筆者根據(jù)實(shí)測經(jīng)驗(yàn),兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。
清除時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同,但由于儀器零件對(duì)氦的吸附和脫附作用的影響,清除時(shí)間一般要更長些。筆者測算,在測試到數(shù)量級(jí)為10-9P a ?m3/s的微漏漏點(diǎn)時(shí),清除時(shí)間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級(jí)為10-8P a ? m3/s的中漏漏點(diǎn)時(shí),清除時(shí)間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級(jí)為10-7Pa?m3/s的大漏漏點(diǎn)時(shí),清除時(shí)間在3分鐘左右。它們?cè)诠饴分蟹謩e實(shí)現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號(hào)調(diào)制、濾波等功能。
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什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的品質(zhì)保證廣泛的市場應(yīng)用,此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅(jiān)固耐用,抗震性能極強(qiáng),可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn):前級(jí)泵配備抽速高達(dá)15 m3/h 旋片泵,對(duì)氦氣抽速可達(dá) 2.5l/s,氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的蕞小檢測漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式:5 · 10-10 Pa m3/s
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