




氦質(zhì)譜檢測儀的標(biāo)準(zhǔn)器選擇
北京科儀真空技術(shù)有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,今天科儀的小編就大家來分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,希望對大家有所幫助!
標(biāo)準(zhǔn)器 采 用 滲 氦 型 標(biāo) 準(zhǔn) 漏 孔,漏 率 標(biāo) 稱 值 在( 10 - 6 ~ 10 - 10 ) Pa·m3 /s,不確定度不大于 10% 。
精密玻璃溫度計,測量范圍(0 ~ 50) ℃ ,不確定度 U = 0. 04℃ ,k = 2。
氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離,再設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀常用檢漏方法及標(biāo)準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實(shí)現(xiàn)被檢件的氦泄漏量測量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后,由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上,通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。如果在離大運(yùn)動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應(yīng)的氦離子運(yùn)動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。
根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同,可以將氦質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,下面分別總結(jié)了這四種氦質(zhì)譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點(diǎn)及檢測的標(biāo)準(zhǔn)。
真空法氦質(zhì)譜檢漏
采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣,可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。(3)其它據(jù)日本有關(guān)文章介紹,日本汽車制造業(yè),已有30多種零部件在使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏,解決密封問題。
氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位。
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