




氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇
今天科儀的小編就和大家來分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體有哪些要求,希望對您有所幫助!
(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;
(2)質(zhì)量輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;
(3)化學性質(zhì)穩(wěn)定,不會引起化學反應(yīng)和易1燃易1爆;
(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體,滿足檢漏靈敏度方面的要求,減少本底干擾檢測的準確性。
氦質(zhì)譜檢漏儀測量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:
方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;
方法二: 將標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。
氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法
氦質(zhì)譜檢漏儀原理的氦質(zhì)譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和周期非常短,可以達到5s以內(nèi);
2.檢測的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.不會受到主觀因素判斷的影響;
4.檢測的數(shù)據(jù)精準;
5.自動生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。
氦質(zhì)譜檢漏儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法,含有渦輪分子泵、內(nèi)置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,以及可選功能組件。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。氦質(zhì)譜檢漏原理氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術(shù),它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pa?m3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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