




氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展
(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。此外,每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。檢漏儀在使用過程中,往往會因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用拓展二電力行業(yè)SF6高壓開關(guān)和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠及野外輸變電的重要組成部分,往往因泄漏造成大面積或局部停電,影響工業(yè)生產(chǎn),又妨礙人們的正常生活。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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氦氣檢漏
氦質(zhì)譜檢漏的檢測精度高,可達(dá)到1×10-7Pa·m3/s。2、135o電離偏轉(zhuǎn)(自然聚焦點(diǎn))的全新質(zhì)譜技術(shù),金屬密封結(jié)構(gòu)。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉,然后注入氦氣,用氦質(zhì)譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出,從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式:一種是在電池生產(chǎn)的中間環(huán)節(jié),即在電池烘干注液之前進(jìn)行檢漏,電芯在真空箱內(nèi)充氦氣及檢測,此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達(dá)標(biāo);另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏,電芯在箱外充氦,電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內(nèi)部,然后將電池放入真空箱內(nèi)進(jìn)行檢漏。