氦氣檢漏儀的工作原理是什么？
2022.05.23
氦氣檢漏儀主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。
分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上。
收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率，冷陰電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力保護裝置。
