英福康氦檢漏儀的技術(shù)要求及校準方法
2022.07.21
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當英福康氦檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
英?？岛z漏儀在使用前需要校準。英?？岛z漏儀的校準的主要項目包括:噪音、Z小可檢漏率、漏率值校準、清除時間等，其中較重要的項目是漏率值的校準。漏率值校準通常是在英福康氦檢漏儀使用前用標準漏孔進行校準。
英福康氦檢漏儀的技術(shù)要求：
1、英?？岛z漏儀在下列條件下應能正常工作
①環(huán)境溫度：5-35℃;
②相對濕度：不大于80%;
③供電電源：380±38V;220±22V;50±0.5Hz;
④大氣壓力：100±5kPa;
⑤儀器附近無強的電磁場干擾，無劇烈震動，無腐蝕性氣體。
2、外觀質(zhì)量
①儀器涂層應色澤均勻，外表不得有明顯的損傷和銹蝕。
②儀器上的開關(guān)、旋鈕和調(diào)節(jié)機構(gòu)應安裝牢固，轉(zhuǎn)動靈活。
3、安全要求
①絕緣電阻：在正常工作條件下，儀器的電源線和機殼之間的絕緣電阻應大于5MΩ。
②絕緣強度：儀器的電源線和機殼之間應能承受1000V、50H交流電壓，歷時1min而無擊穿及飛弧現(xiàn)象。
③儀器的泄漏電流不大于3.5mA。
