氦質(zhì)譜檢漏儀如何正確使用？
2022.07.29
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測(cè)試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過程中如遇到強(qiáng)烈震動(dòng)，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無變化。
氦質(zhì)譜檢漏儀在使用前需要校準(zhǔn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)的主要項(xiàng)目包括:噪音、Z小可檢漏率、漏率值校準(zhǔn)、清除時(shí)間等，其中較重要的項(xiàng)目是漏率值的校準(zhǔn)。漏率值校準(zhǔn)通常是在氦質(zhì)譜檢漏儀使用前用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)要求：
1、氦質(zhì)譜檢漏儀在下列條件下應(yīng)能正常工作
①環(huán)境溫度：5-35℃;
②相對(duì)濕度：不大于80%;
③供電電源：380±38V;220±22V;50±0.5Hz;
④大氣壓力：100±5kPa;
⑤儀器附近無強(qiáng)的電磁場(chǎng)干擾，無劇烈震動(dòng)，無腐蝕性氣體。
2、外觀質(zhì)量
①儀器涂層應(yīng)色澤均勻，外表不得有明顯的損傷和銹蝕。
②儀器上的開關(guān)、旋鈕和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)應(yīng)安裝牢固，轉(zhuǎn)動(dòng)靈活。
3、安全要求
①絕緣電阻：在正常工作條件下，儀器的電源線和機(jī)殼之間的絕緣電阻應(yīng)大于5MΩ。
②絕緣強(qiáng)度：儀器的電源線和機(jī)殼之間應(yīng)能承受1000V、50H交流電壓，歷時(shí)1min而無擊穿及飛弧現(xiàn)象。
③儀器的泄漏電流不大于3.5mA。
