氦質(zhì)譜檢漏儀怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染？
2022.08.10
氦質(zhì)譜檢漏儀怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染
1、由于工作人員操作失誤所導(dǎo)致的真空泵油污染。因?yàn)楣静灰欢ㄖ粫?huì)使用一個(gè)牌子的真空泵，會(huì)有很多真空泵，所使用的真空泵油也不盡相同。工作人員在添加真空泵油的時(shí)候，把不同的真空泵油混合使用，這個(gè)會(huì)導(dǎo)致原先真空泵油和新加入的真空泵油發(fā)生不良反應(yīng)，使得真空泵油受到污染。
2、新油舊油混合使用，導(dǎo)致污染。舊油在長(zhǎng)期的使用過(guò)程中，會(huì)因?yàn)殡s質(zhì)造成污染，如果這個(gè)時(shí)候沒(méi)有將真空泵里的舊油清理干凈，直接加入新油，就會(huì)導(dǎo)致新油也收到污染。
3、新買的真空泵或真空泵維修后，沒(méi)有按照用規(guī)定的油清洗真空泵內(nèi)部，導(dǎo)致真空泵油受到污染。
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、級(jí)限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。
③工作真空、級(jí)限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級(jí)限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的級(jí)限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。
