真空氦氣檢漏設(shè)備的檢漏方式
2022.08.14
真空氦氣檢漏設(shè)備怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染
1、由于工作人員操作失誤所導(dǎo)致的真空泵油污染。因?yàn)楣静灰欢ㄖ粫?huì)使用一個(gè)牌子的真空泵，會(huì)有很多真空泵，所使用的真空泵油也不盡相同。工作人員在添加真空泵油的時(shí)候，把不同的真空泵油混合使用，這個(gè)會(huì)導(dǎo)致原先真空泵油和新加入的真空泵油發(fā)生不良反應(yīng)，使得真空泵油受到污染。
2、新油舊油混合使用，導(dǎo)致污染。舊油在長(zhǎng)期的使用過程中，會(huì)因?yàn)殡s質(zhì)造成污染，如果這個(gè)時(shí)候沒有將真空泵里的舊油清理干凈，直接加入新油，就會(huì)導(dǎo)致新油也收到污染。
3、新買的真空泵或真空泵維修后，沒有按照用規(guī)定的油清洗真空泵內(nèi)部，導(dǎo)致真空泵油受到污染。
真空氦氣檢漏設(shè)備的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦），做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對(duì)氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。
