氦質(zhì)譜檢漏儀怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染？
2022.08.20
氦質(zhì)譜檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個大氣壓的純氦），做“動態(tài)檢漏”時能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動態(tài)檢漏。
指不用累積法進行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進行抽真空，裝置的反應時長小于3s，3s當中的抽氣系統(tǒng)的時間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠遠低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號與裝置噪聲比為一或二時，當中氦的濃度。
當發(fā)現(xiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。
這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行清洗。具體的清洗方法如下：
先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電及部件；然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。
