氦質(zhì)譜檢漏儀怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染？
2022.09.14
1.氦質(zhì)譜檢漏儀的功能可以滿足檢漏的要求。如果有些儀器沒有反流檢漏功能，則不適用于吸槍方法的檢漏；有些儀器沒有設(shè)置報(bào)廢漏率的功能，不適合用于批量產(chǎn)品的檢漏；流水線需要一定的檢漏速度，此時(shí)，應(yīng)選擇帶有雙工位的檢漏器。
2.儀器的靈敏度可以滿足檢漏的要求。不同類型的氦質(zhì)譜檢漏器在國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的靈敏度不同。如果檢漏要求的靈敏度高，我們應(yīng)該仔細(xì)選擇。
3.被檢件不能受油污染，那么可以選購(gòu)無(wú)油真空系統(tǒng)檢漏儀。
4.如果被檢件體積較大，則必須選擇抽泵抽速大的檢漏儀，否則需要加預(yù)抽泵。
5.如被檢對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，應(yīng)選用功能齊全、靈敏度高、檢漏范圍寬的檢漏儀器。
6.檢漏地點(diǎn)不固定，需經(jīng)常搬運(yùn)氦氣質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，應(yīng)選用小型便攜式儀器。
7.氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低，操作是否簡(jiǎn)單，維修是否方便等問(wèn)題，在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，也要綜合考慮。
靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、級(jí)限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。
②反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定
反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零（或補(bǔ)償?shù)搅悖r(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時(shí)間，記為τR。
清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時(shí)間，記為τC。
③工作真空、級(jí)限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級(jí)限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的級(jí)限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。
