當發(fā)現(xiàn)真空箱式氦檢漏儀的靈敏度降低,而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。
這個時候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行清洗。具體的清洗方法如下:
先用較細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電及部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電及部件;然后用航空汽油或丙酮和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。
1.較小的檢漏率:即真空箱式氦檢漏儀能檢測到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時間:當一定流量的探測氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時,電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間,泄漏指示器可以達到大值,泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零,需要一定時間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時間略長于響應(yīng)時間。
3.啟動時間:真空箱式氦檢漏儀開啟電源與能檢測到泄漏之間的時間。