1.較小的檢漏率:即空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器能檢測到較小的檢漏率。
2.響應清除時間:當一定流量的探測氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時,電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間,泄漏指示器可以達到大值,泄漏指示器不能立即恢復到零,需要一定時間才能下降,通常由于氦吸附和解吸,去除時間略長于響應時間。
3.啟動時間:空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器開啟電源與能檢測到泄漏之間的時間。
(1)便攜性:許多空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器不僅靈敏度高,而且便于攜帶,為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕,對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動化:氦峰自動標定,零點自動調(diào)整,量程自動轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)自動處理,可外接打印機。全機由微電腦控制,具有選菜功能,一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵,達到無油蒸汽的效果,為無油系統(tǒng)、晶片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。