氦檢漏設(shè)備的維護(hù)方法及常見故障的處理
2022.12.15
1.較小的檢漏率：即氦檢漏設(shè)備能檢測到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間：當(dāng)一定流量的探測氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測器時(shí)，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，泄漏指示器可以達(dá)到大值，泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時(shí)間略長于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間：氦檢漏設(shè)備開啟電源與能檢測到泄漏之間的時(shí)間。
科技信息化不斷更新迭代的市場，氦檢漏設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個(gè)需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備被迫更新，另一方面每個(gè)行業(yè)的不足都在進(jìn)步的過程，缺陷與不足相互補(bǔ)充，相互促進(jìn)。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
氦檢漏設(shè)備進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：
1.智能化：以往的氦檢漏設(shè)備操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測。
2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四級檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
