氦檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的檢漏儀器。
氦檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
氦檢漏儀怎么才能規(guī)避真空泵油造成的污染
1、由于工作人員操作失誤所導(dǎo)致的真空泵油污染。因為公司不一定只會使用一個牌子的真空泵,會有很多真空泵,所使用的真空泵油也不盡相同。工作人員在添加真空泵油的時候,把不同的真空泵油混合使用,這個會導(dǎo)致原先真空泵油和新加入的真空泵油發(fā)生不良反應(yīng),使得真空泵油受到污染。
2、新油舊油混合使用,導(dǎo)致污染。舊油在長期的使用過程中,會因為雜質(zhì)造成污染,如果這個時候沒有將真空泵里的舊油清理干凈,直接加入新油,就會導(dǎo)致新油也收到污染。
3、新買的真空泵或真空泵維修后,沒有按照用規(guī)定的油清洗真空泵內(nèi)部,導(dǎo)致真空泵油受到污染。