怎么確定真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度？
2023.02.15
真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦），做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。
(1)便攜性:許多真空箱氦質(zhì)譜檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了很大的便利。
(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。
(3)高度自動(dòng)化：氦峰自動(dòng)標(biāo)定，零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。
(4)完全無油的干式檢漏:一些地方生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。
