空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器的檢漏方式
2023.02.27
靈敏度、反應(yīng)時間、清除時間、工作真空度、級限真空度及儀器入口處抽速是評價空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器的主要性能指標(biāo)。
①靈敏度及其校準(zhǔn)
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的較小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的*小漏孔漏率。所謂“*佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到*佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“*小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。
②反應(yīng)時間、清除時間及其測定
反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零（或補償?shù)搅悖r，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的時間，記為τR。
清除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的時間，記為τC。
③工作真空、級限真空及入口處抽速
質(zhì)譜室級限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的級限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。
科技信息化不斷更新迭代的市場，空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備被迫更新，另一方面每個行業(yè)的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。
空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器進展集中體現(xiàn)如下方面：
1.智能化：以往的空調(diào)蒸發(fā)器氦檢漏儀器操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。
2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
4.全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四級檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
