電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀的檢漏方式
2023.03.19
1.較小的檢漏率：即電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀能檢測(cè)到較小的檢漏率。
2.響應(yīng)清除時(shí)間：當(dāng)一定流量的探測(cè)氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器時(shí)，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，泄漏指示器可以達(dá)到大值，泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時(shí)間略長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。
3.啟動(dòng)時(shí)間：電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀開啟電源與能檢測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。
電力開關(guān)真空箱氦檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。
逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。
這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
